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中科院聲學(xué)所成功研制新型聲表面波電流傳感器

發(fā)表時(shí)間:2018-08-24 00:23:35    瀏覽量:3877

       經(jīng)過(guò)近三年的科研攻關(guān),中國科學(xué)院聲學(xué)研究所超聲技術(shù)中心王文課題組將快速響應的聲表面波技術(shù)與高磁敏磁致伸縮薄膜技術(shù)相結合,成功研制出高靈敏、快速響應和低遲滯誤差的新型電流傳感器。2018年6月底,該技術(shù)作為國家電網(wǎng)公司基礎前瞻性研究重點(diǎn)項目“面向電網(wǎng)應用的新型傳感及儲能電池關(guān)鍵技術(shù)研究”的關(guān)鍵產(chǎn)出成果,順利通過(guò)專(zhuān)家驗收。


       王文課題組通過(guò)建立聲表面波磁致伸縮效應的電流感知理論,實(shí)現了對沉積圖形化磁致伸縮薄膜的新型聲表面波電流傳感器的物理結構優(yōu)化,提取了獲得高磁敏、快速響應與低磁滯的拓撲結構參數;給出了傳感器微納制作工藝方法,研制出了原型器件,測試結果很好地驗證了分析理論,其靈敏度達到了22kHz/A,分辨率可達0.1mA以下,并體現出良好的線(xiàn)性度。相對于現有技術(shù),聲表面波電流傳感器表現出了微小型化、抗干擾能力強、線(xiàn)性度好、低功耗等優(yōu)勢,在智能電網(wǎng)線(xiàn)路檢測、電力冶金與軌道交通中的供電安全預警與救援、工業(yè)自動(dòng)化中的電源繼電保護中極具應用前景。


       該項目成果已經(jīng)在A(yíng)IP Advances, Smart Mater. Struct., Appl. Sci.,Sensors 以及《聲學(xué)學(xué)報》等期刊上發(fā)表論文10余篇,也在2015年、2017年的IEEE國際超聲會(huì )議上進(jìn)行報道,受到國內外專(zhuān)家學(xué)者的廣泛關(guān)注。此外,該項成果已經(jīng)獲授權發(fā)明專(zhuān)利1項,申請發(fā)明專(zhuān)利2項。